真空热处理真空炉解决钛合金时，不适合用氮气看成冷却气体，由于钛和氮在炙热下反应，构成金黄色的氮化钛。真空热处理真空炉举动结合有些统统选取O型橡胶圈密封联接，此有些均通水冷却。部件在真空状况下淬火，应采用真空淬火油，此油具有较低的饱满蒸气压。真空热处理真空炉的维护应在真空或充纯氮状况下，防止往常不用时吸气，吸潮。真空热处理以辐射为主，作件在炉内大约坚持间隔。提温进程中，零件及炉内材料会泄气，使真空度降低。真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空功效的升高温度一般与惯例处置时加热温度一样。真空回火炉大概具备速冷设备。冷却水的压力超过0.2Mpa左右，流量应可变动。真空热处理加热：放入部件后，平常先预抽至6.67Pa时方可提高温度加热。
