通常，由于工件的空气接触，真空热处理在高温下易于氧化。如何保持真空热处理工艺内容呢？真空热处理过的工件在真空条件下进行热处理以避免被加热的工件氧化，从而确保了被加热的工件的外观精度和质量。不好的一点是成本高，不适合大型工件。真空热处理炉的加热腔在工作时接近真空。只有痕量的一氧化碳和氢气。它们对加热的金属含还原性，并且不会进行氧化脱碳。同时，它们还可以氧化形成的膜。还原了膜，因此加热的金属工件的外观可以保持原始的金属光泽和良好的外观功能。在真空环境中对经过真空热处理的金属零件进行加热时，金属中的不好的气体（例如钛合金中的氢和氧）将在高温下逸出，这有利于改善金属的机械性能。各种元素都有自己的蒸气压。如果环境中的压力低于某个元素的蒸气压，则该元素将蒸发。在真空热处理期间，应按照钢中所有的合金元素的蒸气压选择加热时的真空度或温度，以避免合金元素蒸发。当将钛合金放进真空炉中开始真空热处理时，不建议使用氮气当做冷却气体，因为钛还有氮气在高温下反应变成了金黄色的氮化钛。一些用做真空热处理的真空炉通过O形橡胶圈密封和连接，其中一些被水冷却。真空热处理对于要在真空条件下淬火的工件，应该要用真空淬火油，其全蒸气压较低。
