(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上进程能够看出，电子首先从电场取得能量，经过激起或电离将能量转移到分子或原子中去，取得能量的分子或原子被激起，同时有部分分子被电离，然后成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互磕碰后生成安稳产品和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质抓获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反响中起着重要的效果。
等离子废气净化器产品特色功能特色：
1、科技含量高，引入国外先进技术。
2、模块设计、灵敏简洁，装置简略，占地面积小。
3 、放电强度大，发生高能等离子体密度大。
4 、联合等离子体中光子的协同效果较传统的电晕放电和DDBD，愈加高效的降解废气。
5、空气阻力小，削减压降损失。耗电量小。
6、适用于大都的恶臭废气和有机废气，降解率高。
7、电极不与处理废气直接触摸，运用寿命长。
8、不宜用于高温高湿度的气体，大风量状况下不建议运用。