研磨液 超精密研磨抛光方法
在超精密加工中,超精密切削、超精密磨削的实现在很大程度上依靠于加工设备、加工工具以及其它相关技术的支持。并受其加工原理及环境因素的影响和限制,要实现更高精度的加工十分困难。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点,故它可以实现纳米级甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分。
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