国外激光清洗的去污范围非常广泛,从厚锈层到激光表面微细颗粒都可以去除,已有近30年的使用经验,在去污中涉及激光清洗实验所使用的设备种类也比较多,所用激光器的波长范围广。但激光清洗技术的发展不平衡,有些已实现工业化,有的还处于实验室阶段。目前欧美国家的激光清洗市场表现稳定,主要供应商包括P-laser, CleanLaser, Adapt Laser Systems, General Lasertronics,IPG等。具体包括激光模具的清洗方面,已经发展到1000 W激光手动清洗机;电子线路清洗采用248 nm、3 W、20 ns的激光,已实现工业化;采用248 nm、5 W的纳秒紫外光清洗芯片,取得非超好的效果;在光掩膜领域,紫外激光已经完全取代传统化学清洗方法;在激光除锈、激光除污染物方面,已经规模化应用,而且实验先于理论。另外在半导体领域、磁头和绝缘体领域已经开始实验验证。
我国激光清洗技术的研究和设备的开发起步晚,基本上是跟踪国外的发展,虽然在较短时间内取得了一些成果,但与国外相比还有较大差距。目前从事激光清洗的科研机构包括中国工程物理研究院激光聚变中心、解放军装甲兵工程学院再制造中心、哈尔滨工业大学、华中科技大学、南开大学等。尽管近年学术界激光清洗的研究文章逐渐增多,清洗材料种类和应用领域逐渐扩大。
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