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溅射靶材(其他金属)
  

品名称

用型号

Al

4N,5N,6N

≠0.5×100×100                   ≠6×Φ80

Varian TM , MRC TM ,

AlSi

4N

 1×120×120                       ≠6×Φ100

,

 
KDF TM

Cu

4N,5N,6N

1.03×200×300                  ≠6×Φ154

ANELVA TM , ULVAC TM

Ni

4N,5N

≠2×Φ5                                  ≠6.35×76.2×431.8

Oerlikon (Balzer) TM ,

Cr

4N,5N

≠3×Φ100                               ≠6.35×Φ101.6

AMAT TM , Novellus TM ,

NiCr

4N

≠3×76.2

6×126×178

etc

Ta

4N

≠3×79.5×424                       ≠6.35×76.2×431.8

 

Ti

4N

3×Φ100                               ≠6.35×79.4×423

Other configurations

WTi

4N

4×79.5×424                         ≠6.35×Φ101.6

available acc. to

Sn

SnAgCu

Zn

ZnV

ZnLi

4N,5N

4N

4N,5N

4N

4N

4×Φ101.6        4×Φ152.4        5×Φ76.2          5×Φ89.5          ≠5×Φ92              5×Φ150×Φ100

6.35×Φ203.2

6.4×Φ107.5

≠6.5×76×431.6

6.5×Φ107.5

6.5×Φ220

≠ 8×Φ228

customers specs.

 

 

5×Φ203