在无尘室内不携入微粒子的方法有：作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤 材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
减少接触剥离发尘的动作形态；采用磨耗发尘小的材质；采用发尘小的润滑油；机台应用空压浮上的非接触化工作原理。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。