随着人们现在生活水平的不断提高，对其消费质量的要求也越来越严峻。电子厂与其他行业的无尘车间在树立规划时关于静电的控制主要分为两种：高湿度理论上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积聚，──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适宜电荷的积聚并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室普通都运用额外的控制装置以限制静电荷的积聚。很多化学反响的速度，包括腐蚀进程，将随着相对湿度的增高而加快。一切流露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被掩盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水构成一层维护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反响;但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才干的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易遭到腐蚀。
所以无尘车间的温湿度控制由其消费工艺决议，但其精度同时也要看其房间的大小例如计量室、光栅刻线室、精密仪器制造和装配车间等。前两者都为小房间，空调精度(这里主要指温湿度)要求高；后两者为较大的消费车间，温湿精度要求较低。所以其房间大小也会决议恒温恒湿车间的精度。