高频火花检漏仪本身结构实际上就是一个小功率、高频、高压的塔式线圈，在其次级线圈的尖端形成高频高压电脉冲，在大气中会不断引发随机、短促的脉冲放电，有尖细、曲折的电火花从尖端发出。检漏时就是利用其尖端上产生的高频放电火花来搜寻漏孔。主要用于玻璃真空系统或器件的检漏。如需检漏金属真空系统或容器时，可利用安置在金属系统上的玻璃规管或盲管来检漏。检漏仪主要优点是结构简单、使用方便。
据检漏仪行业了解到，高频火花检漏仪的使用注意事项如下：
(1)在检漏时，应将玻璃表面或内壁牯附(或夹杂)的金属粉屑等清除干净。否则，由于金属粉屑的存在会造成错误的信号，或在金属粉屑处将系统烧穿。
(2)在检漏过程中，要适当调节火花束，不要过强;在搜寻漏孔时，不可在一处停留时间过长。否则，系统会因为局部受火花灼热而被打穿。
(3)不可将放电尖端移到易燃物质附近，以免引起火灾。
(4)避免人体触及放电尖端，以免触电。
(5)在用高频火花检漏仪检漏时，要考虑放电火花对真空测量的影响。放电火花能使去气不良的系统器壁放气，因而真空系统的真空度降低;反之，如果真空系统去气良好，则放电火花会激起真空系统内气体放电，因而真空系统的真空度提高。
