氦质谱检漏仪由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其它电气部分组成。目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的。现以1800的磁偏转型仪器(例如HZJ-1型氦质谱检漏仪)为例加以说明。
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在质谱室的离子源N内气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆轨迹运动。其偏转半径可按下式计算。
由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M有不同的R。HZJ-1型仪器的H和R是固定的(R=4cm)。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其它不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
