多晶硅还原钟罩清洗 -- 天津市精诚高压泵制造有限责任公司

多晶硅还原钟罩清洗

　日期：2019/7/8 15:50:32　

钟罩清洗不干净、光洁度不够，常常导致硅芯击不穿或产品质量污染，所以钟罩清洗设备对多晶硅生产非常重要。多晶硅还原炉钟罩清洗系统包括低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等，系统实现了钟罩的全自动清洗和烘干操作，具有节能、环保、安全的特点。以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水（去离子水或叫脱盐水）漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。用经过三级净化（10万级）的纯净空气，梯级加热，保证烘干完的钟罩不再结露，方可直接进入生产作业。