一、洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求:
1、洁净室（区）人员净化、物料净化和各种辅助永房,应合理分区布置.
2、生产工艺或生产设备有特殊要求时,宜分隔为单独的房间.
3、生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔.
4、发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置.
5、洁净室（区）的辅助设备、维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室（区）的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室（区）的等级.
6、若需在洁净室（区）内设置洁净电梯时,应采用气闸间、洁净送风措施.
7、应符合有关防爆、防火、消防等要求.
二、洁净室（区）的空间布置应满足下列要求:
1、生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置,并应做到有效、灵活和操作方便.
2、各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求.
3、终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置,应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求.
4、洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定.技术夹层高度应根据具体工程要求确定.
三、洁净室（区）内应少分隔,但下列情况应予分隔:
1、按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙.
2、在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间.
3、生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染的工艺、设备,宜分隔设置独立房间.