洁净室内固定或移动设备运转对洁净室内固定或移动设备运转提出了要求:
第一项要求为设备在工作过程中不得污染洁净室,为此,应选用与所在区洁净度级别相符的设备,不同情况下对设备的要求分别阐明在,设备的运输,开箱和安装应符合洁净度备忘录的要求.
最后,设备应严格遵照运转规程和设备说明书进行运转.并且只能由经过培训,会操作设备,符合洁净工艺要求的人员进行操作.许多设备都有工艺过程参数遥控装置,有时还要为较为重要的部件设置备分,并监视其能否正常工作正在此基础上,可建立调庋控制系统,并与工艺,工程设备主要参数集中控制台相连接.
洁净室用设备的结构和安装都要做到能将主体设备放在技术维修区,而将控制面板和进、出料机构放在洁净室内,这样可以使维修人员进入净化工程洁净室的次数减少到最低限度.
设备的技术维修应按标明工作项目,完成工作的周期性的计划进度表进行,应为每项工作制订规程,在规程中写明受控参数一览表,完成工序一览表,测试仪表,材料和工具的组成,对完成该项工作的人员所提出的要求.应对每项工作所需的时间进行评价,所有这一切均应与工艺过程实施进度表相一致.
应编制设备的计划检修进度表.工程服务部门的一切活动均应着眼于消除设备的一切隐患,应为更重要的部分设置备份（热的和冷的）和成套备件,并保存在易于接触的部位.