真空机是在真空环境中产生、改进和维持的一种装置。本文主要研究的对象是分子束外延系统、磁控溅射系统、电子束蒸镀系统、等离子体刻蚀系统、快速热退火系统、快速热处理系统和等离子体增强化学气相沉积系统。
改革开放20多年来，中国真空设备工业取得了长足的发展，这不仅是产值、产量的大幅增长，也是品种、规格、综合技术水平的大幅提高，取得了相当大的成绩。世界消费市场主要集中在亚太地区。消费市场中，中国占20.14%，台湾占18.44%。在日本占17.12%，韩国占15.57%，而在北美的销售市场相对较小，全球销售额12.65%。真空设备产业可广泛应用于电子、光学、玻璃、光伏等下游消费市场，电子产业是我国最大的消费市场，占我国电子产业的65.44%。到2010年，真空设备产业将以每年10%的速度增长，实现工业总产值(不变价)28亿元，工业总产值(现价)26.4亿元，工业销售产值23亿元，产品销售收入26亿元，出口交货值1.5亿元，利润总额1.4亿元。
尽管中国真空设备行业面临着诸多问题和困难，但它同时又面临着巨大的机遇。中国和平崛起和巨大市场，为我国经济持续发展创造了非常好的条件，只要经济以每年7~8倍的速度增长，真空设备的潜在市场也将继续扩大，只要我们每一个企业都选择自己的定位，发挥自己的独特优势，一定会有所行动，一定会在激烈的市场竞争中生存。