对于真空产品或系统的使用，请先检查是否有泄漏，这是保证真空产品正常使用的前提。泄漏检测方法有很多，例如压力泄漏检测方法（水压方法，气泡方法，卤素泄漏检测，氨泄漏检测等）和真空泄漏检测方法（静态增压方法，排放管方法，火花法，真空计方法等）。也可以使用检漏仪工具，进行检漏能够及时发现真空产品的问题所在，便于及时维修。
压力检查泄漏的方法：用恒定压力的检漏材料填充检查部件的内部。如果检查部件有泄漏，则里面材料将从泄漏处泄漏。使用这种特定的方法或设备来检测检查部件的外部，可以确定从泄漏孔泄漏的泄漏的存在的位置和泄漏率。
真空检查泄漏的检测方法：将泄漏检测器的测试组件和敏感组件置于真空状态，并将检漏物质施加到测试组件的外部。如果存在泄漏，泄漏的材料将通过泄漏进入测试和敏感部件。敏感元件检测传感器空间中的泄漏，以识别泄漏的存在与否以及泄漏率的位置。
其它检漏法：背压检漏法与上两种方法有所不同，不同采用充压或者真空的方式。而是通过使用背压腔将泄漏的泄漏气体填充到测试部件中，然后让泄漏的气体在真空中从测试部件泄漏，并通过某种方法（或泄漏检测器）检测泄漏，并确定测试零件的总泄漏率。
