气动量仪的数据误差有两种表示方法：用数值表示，即用测量值与具体值的差值表示，这种方法表示的偏差的原因称为误差；比率表明，这种方法所表示的偏差的原因称为相对偏差。比如用气动量仪测量长度，较大的相对偏差为万分之一，这说明在要求的标准下，测量一米长度的偏差原因不应超过0.1微米。
气动量仪的测量结果与测量长度的真实值之间的一致性水平表明。它是准确度和精密度的综合，俗称精准度。如果系统误差已经过调整，则用普通不确定度表示。气动量仪的测量不确定度是指由于数据误差导致测量值不能处于一个不容置疑的水平，其大小用相对标准偏差表示。
在气动量仪的测量中，个人多次测量被测长度后得到的数据信息，往往取算术平均值作为测量结果。那是因为根据概率论的大数定律，如果测量频率足够，精度是可以提高的。整个测量过程中随机偏差的发生大多遵循标准正态分布规律。
此外，气动量仪还有数据处理方法，对测量个体获得的数据信息进行数学运算，以获得所需的测量结果。比如用气动量仪测量同心度时，立即得到的数据信息是某个相对中心点的半翘变化，所以只有将同心度定义为相对函数计算，才能得到同心度偏差的原因。
