气相沉积炉设备室是立式结构，气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。主要电器元件采用知名品牌，性能稳定、可靠。配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
气相沉积炉反应室的压力、气体的流动速率、晶片的温度等反应中间起的作用都是沉积参数的变化范围，所以考虑到沉积薄膜中的变数、以及沉积速率决定着反应室的产出量，反应生成的膜不仅会沉积在晶片上，也会沉积在反应室的其他部件上，所以对反应室进行彻底清洗的程度也是重要。
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