气相沉积炉在工作时会产生含有有害物质的尾气，这些有害物质会对环境造成污染。因此，现代气相沉积炉通常会配备尾气过滤器来减少尾气中的有害物质。尾气过滤器通常包括壳体和滤芯，壳体内设有容置腔，滤芯设于容置腔内。壳体的底部设有进气管，进气管连通容置腔与尾气排出管；壳体的顶部设有排气管；排气管连通容置腔。
来源:http://www.sinokiln.com/news1075069.html
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气相沉积炉在工作时会产生含有有害物质的尾气，这些有害物质会对环境造成污染。因此，现代气相沉积炉通常会配备尾气过滤器来减少尾气中的有害物质。尾气过滤器通常包括壳体和滤芯，壳体内设有容置腔，滤芯设于容置腔内。壳体的底部设有进气管，进气管连通容置腔与尾气排出管；壳体的顶部设有排气管；排气管连通容置腔。
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