微型导轨是机械行业的通用功能部件。微型导轨的质量直接影响机械设备的使用寿命和精度，因此微型导轨应具有较高的耐磨性和尺寸稳定性。虽然离子渗氮导轨可以获得较高的硬度和耐磨性，但在过去，离子渗氮导轨的商业化受到渗氮变形大的限制。通过实验，找出了导轨离子渗氮变形的规律，并采取了相应的工艺措施，使导轨底基面弯曲的极限偏差和侧基面弯曲的极限偏差在离子渗氮后满足相关文件规定的5、6级精度的技术条件。导轨毛坯的预热处理选择退火和调质两种预热处理工艺。硬度229HBW。调质：退火工艺：870保温2h，炉冷至500以下，出炉空冷。保持温度在930 ~ 9401分钟。5h，用油淬火。然后680回火3h，空冷。
微型导轨可以理解为一种滚动导轨，钢球在滑块和导轨之间无限滚动，使载物平台可以很容易地沿导轨做高精度直线运动，摩擦系数可以降低到普通传统滑动导轨的五十分之一，很容易达到很高的定位精度。滑块和导轨之间的最终单元设计使线性导轨同时承受上、下、左、右等各个方向的载荷。