净化厂房灭火器的配置应遵循以下原则：
首先，灭火器的选择应考虑洁净厂房的特殊环境，避免选用化学干粉灭火剂、泡沫灭火剂等可能对工艺设备和洁净室环境产生污染和腐蚀作用的灭火剂。通常，二氧化碳灭火剂因其灭火后不留痕迹、不污损、不腐蚀保护物品的特点，在洁净室内得到普遍使用。
其次，灭火器的配置数量和位置应满足规范要求。灭火器应设置在位置明显且便于取用的地点，如走廊、墙角等，且不得影响安全疏散。同时，应考虑洁净厂房的面积、火灾危险等级等因素，合理配置灭火器的数量和种类。
最后，灭火器的维护和管理同样重要。应定期检查灭火器的压力、外观等是否正常，确保其处于良好状态。同时，应对操作人员进行灭火器使用方法的培训，以提高应急处理能力。
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