目工艺过程分为羰化合成和酯加氢两部分。
生产原理方程式如下：
2C0+2RONO→(COOR)2+2NO ①
一氧化碳 亚硝酸酯 草酸酯 一氧化氮
2NO+1／202+2ROH→2RONO+2H20 ②
一氧化氮 氧气 醇类 亚硝酸酯 水
2C0+ 1／202 + 2ROH→( COOR) 2+ H20 ③
一氧化碳 氧气 醇类 草酸酯 水
步是把C0和亚硝酸酯气相催化合成草酸酯(式①)，反应尾气中的N0气体和氧气及醇类反应再生成亚硝酸酯回收循环使用(式②)：由式①+式②得式③，即由C0加空气中的氧和醇类，就可以合成出草酸酯。
生产方法的先进性比较
即由草酸与醇类在甲苯中高温酯化的化学反应方法相比[见反应式④]，原料路线和工艺过程都有极大的优越性。每生产一吨草酸酯，可省去一吨草酸和大量的甲苯及浓硫酸，成本可降低40％以上，并可连续大量生产，能耗低、安全、不污染环境。特别是产品质量好，草酸甲酯产品纯度达到99.8%,不含微量重金属及酸，这在国内外尚未见报导。
(COOH)2 . 2H20 +2ROH→(COOR)2+4H20 ④
乙二酸 醇类 草酸酯 水
Ube公司1978年建成6000吨／年草酸二丁酯水解生产草酸工厂，在10．0MPa和100℃条件下，液相催化合成草酸二丁酯并水解生产草酸，成本比用甲酸钠法生产草酸的成本降低
36％。该方法的缺点是反应压力高，能耗大，液相催化剂需要分离回收和再生，工艺较复杂等，因此至今没有推广。
目前世界上尚未有气相催化合成草酸酯新工艺的工业化装置，金煤公司的工业试验在原、辅材料消耗、催化剂产率和寿命等方面均达到了设计要求。
2.草酸酯加氢制乙二醇
本生产工艺采用中国科学院福建物质结构研究所的草酸酯气相催化合成加氢制乙二醇技术。
生产原理
反应方程式如下：
(COOH)2+ 4H2→(CH2OH) 2 + 2ROH ⑤
草酸酯 氢气 乙二醇 醇类
2CO + 1/2O2 + 4H2→(CH2OH) 2 + H2O ⑥
一氧化碳氧气 乙二醇 水
第二步是把草酸酯催化加氢生成乙二醇。③+⑤得⑥，即只要用煤或天然气制成的合成气(C0和H 2)以及空气中的氧气，就能合成出乙二醇。